三甲基氯硅烷的英文缩写是TMCS,结构简式为(CH3)3SiCl,分子量为108.65，是无色透明液体。

三甲基氯硅烷可用于生产多种有机硅化合物，是生产六甲基二硅氮(胺)烷和六甲基二硅氧烷的主要原料。可制备烷基化剂，也可作为医药化工生产中的基团保护剂。

三甲基氯硅烷是在有机分子中引入三甲基硅基的优良试剂，可以作为羟基、羧基、氨基等官能团的保护基团。