三坐标测量仪（也称三坐标测量计）是一种高精度测量仪器，其原理是利用三个坐标轴（X、Y、Z）上的测量头或测量探针来测量一个物体的三维坐标位置。

三坐标测量仪的主要组成部分包括机身、测头、控制系统和计算机软件系统。测头通常由接触式或非接触式探头组成，可以通过机身上的电机、气动机构或手动轴向移动，实现对被测物体的三维坐标测量。

接触式探头通常使用球头或者针形探头来触碰被测物体表面，然后测量探头位置的坐标值。非接触式探头则使用光学或激光等技术，通过测量探头和被测物体之间的距离来确定被测物体的三维坐标位置。

三坐标测量仪的精度通常可以达到0.001毫米，可以用于测量各种形状的物体，包括平面、曲面、孔径和棱角等。它广泛应用于制造业中的产品开发、质量控制、精密加工等领域。