cof2是化学物质氟光气。碳酰氟，又名氟光气、氟化羰、羰基氟、氟氧化碳、氧氟化碳等。高毒***性气体，对皮肤及呼吸道粘膜具有强烈的***作用。能溶于水和乙醇。分子量66.01。可用于半导体制造装置的清洗气和刻蚀气，有机化合物的氟化气和原料以及有机合成的中间体、氟化剂，作为半导体制造装置用的清洗气需要高***的COF2。